Osagaia | %99,9999 | Unitatea |
Oxigenoa (Ar) | ≤0.1 | ppmV |
Nitrogenoa | ≤0.1 | ppmV |
Hidrogenoa | ≤20 | ppmV |
Helioa | ≤10 | ppmV |
CO+CO2 | ≤0.1 | ppmV |
THC | ≤0.1 | ppmV |
Klorosilanoak | ≤0.1 | ppmV |
Disiloxanoa | ≤0.1 | ppmV |
Disilanoa | ≤0.1 | ppmV |
Hezetasuna (H2O) | ≤0.1 | ppmV |
Silanoa silizio eta hidrogeno konposatu bat da. Konposatu sorta bat izendatzeko termino orokorra da, besteak beste, monosilanoa (SiH4), disilanoa (Si2H6) eta silizio-hidrogeno konposatu maila altuago batzuk. Horien artean, monosilanoa da ohikoena, batzuetan silano laburbilduz deitzen zaiona. Silanoa gas kolorgegabea da, baratxuri usain nazkagarria duena. Uretan disolbagarria, ia disolbaezina etanolean, eterrean, bentzenoan, kloroformoan, silizio kloroformoan eta silizio tetrakloruroan. Silanoen propietate kimikoak alkanoak baino askoz aktiboagoak dira eta erraz oxidatzen dira. Airearekin kontaktuan dagoenean errekuntza espontaneoa gerta daiteke. Ez du nitrogenoarekin erreakzionatzen 25 °C-tik behera, eta ez du hidrokarburo konposatuekin erreakzionatzen giro-tenperaturan. Silanoaren sua eta leherketa oxigenoarekin erreakzioaren ondorio dira. Silanoa oso sentikorra da oxigenoarekiko eta airearekiko. Kontzentrazio jakin batekin silanoak ere modu lehergarrian erreakzionatuko du oxigenoarekin -180 °C-ko tenperaturan. Silanoa erdieroaleen mikroelektronika prozesuetan erabiltzen den gas berezi garrantzitsuena bihurtu da, eta hainbat mikroelektronika film prestatzeko erabiltzen da, besteak beste, kristal bakarreko filmak, mikrokristalinoak, polikristalinoak, silizio oxidoa, silizio nitruroa eta metal silizidoak. Silanoaren aplikazio mikroelektronikoak sakonki garatzen ari dira oraindik: tenperatura baxuko epitaxia, epitaxia selektiboa eta heteroepitaxia epitaxia. Ez bakarrik siliziozko gailuetarako eta siliziozko zirkuitu integratuetarako, baita konposatu erdieroaleko gailuetarako ere (galio arseniuroa, silizio karburoa, etab.). Supersare kuantikoko putzu materialen prestaketan ere aplikazioak ditu. Esan daiteke silanoa ia zirkuitu integratu aurreratuen ekoizpen lerro guztietan erabiltzen dela garai modernoetan. Silanoaren aplikazioa silizioa duen film eta estaldura gisa mikroelektronika industria tradizionaletik hainbat arlotara zabaldu da, hala nola altzairua, makineria, produktu kimikoak eta optika. Silanoaren beste aplikazio potentzial bat errendimendu handiko motor zeramikoen piezak fabrikatzea da, batez ere silanoa silizidoa (Si3N4, SiC, etab.) fabrikatzeko erabiltzeak gero eta arreta gehiago erakarri du mikrohauts teknologiak.
①Elektronikoa:
Silanoa siliziozko obleetako silizio polikristalino geruzetan aplikatzen da erdieroaleak eta zigilatzaileak fabrikatzean.
②Eguzki-energia:
Silanoa eguzki-energia fotovoltaikoko moduluen fabrikazioan erabiltzen da.
③Industria:
Energia aurrezteko beira berdean erabiltzen da eta lurrun-deposizioko film meheen prozesuan aplikatzen da.
Produktua | Silano SiH4 likidoa | |
Paketearen tamaina | 47 litroko zilindroa | Y-440L |
Betetze-pisu garbia/zilindroa | 10 kg | 125 kg |
20'-ko edukiontzian kargatutako kantitatea | 250 zilindro | 8 zilindro |
Pisu garbi osoa | 2,5 tona | tona 1 |
Zilindroaren Tara Pisua | 52 kg | 680 kg |
Balbula | CGA632/DISS632 |
① Hamar urte baino gehiago merkatuan;
②ISO ziurtagiriaren fabrikatzailea;
③ Bidalketa azkarra;
④Lehengai iturri egonkorra;
⑤Kalitate-kontrolerako lineako analisi-sistema urrats guztietan;
⑥ Zilindroa bete aurretik maneiatzeko eskakizun handia eta prozesu zehatza;
⑦Purutasuna: purutasun handiko kalitate elektronikoa;
⑧Erabilera: eguzki-zelulen materialak; polisilizio purutasun handiko, silizio oxidoa eta zuntz optikoa egitea; beira koloreztatua fabrikatzea.