ElectiGas bereziakgas berezien adar garrantzitsua dira. Ekoizleen ekoizpenaren ia lotura guztietan sartzen dira eta ezinbestekoak dira industria elektronikoak ekoizteko, hala nola, zirkuitu integratuak, panel lauak eta eguzki-zelulak.

Erdieroaleen teknologian, fluorinezkoak dituzten gasak oso erabiliak dira. Gaur egun, gas elektronikoko merkatu globalean, fluoroak dituzten gas elektronikoak osoaren% 30 inguru dira. Gas elektronikoko fluoroak, informazio elektronikoko materialen arloan gas elektroniko berezien osagai garrantzitsuak dira. Artikulu honetan garbiketa agente gisa eta grabatzaile gisa erabiltzen dira batez ere.

Honako hauek ohiko erabiliak dira fluoroak dituzten gasak

Nitrogeno trifluoruroa (NF3): gordailuak garbitzeko eta kentzeko erabiltzen den gasa, normalean erreakzio-ganberak eta ekipoen gainazalak garbitzeko erabiltzen direnak.

Sufre Hexafluoride (SF6): Oxidoa gordetzeko prozesuetan eta euskarri isolatzaileak betetzeko gas isolatzaile gisa erabiltzen den agente fluoragarria.

Hidrogeno fluoruroa (HF): silizioaren gainazaletik oxidoak eta silizioak eta beste material batzuk grabatzeko erabilitakoak erabiltzen dira.

Nitrogeno fluoruroa (NF): Silicon Nitride (Sin) eta Aluminio Nitride (ALN) bezalako materialetarako erabilitako materialetarako erabiltzen da.

Trifluorometanoa (CHF3) etaTetrafluorometanoa (CF4): Fluoruro materialetarako erabiltzen da, hala nola silizio fluoruroa eta aluminio fluoruroa.

Hala ere, fluoroak dituzten gasak zenbait arrisku daude, toxikotasuna, korrosibitatea eta sukoitasuna barne.

Toxikotasun

Gas fluoro bat duten gasak toxikoak dira, esaterako, hidrogeno fluoruroa (HF), zeinaren lurruna larruazaleko eta arnasbidearentzat eta giza osasunerako kaltegarria da.

Korrosibotasun

Hidrogeno fluoruroa eta fluoruro batzuk oso korrosiboak dira eta larruazala, begiak eta arnasbideak kalte larriak sor ditzakete.

Sumarriak

Fluoruro batzuk sukoiak dira eta airean oxigeno edo urarekin erreakzionatzen dute, bero eta gas toxiko biziak askatzeko, sua edo leherketa sor ditzaketenak.

Presio handiko arriskua

Gas fluoratu batzuk presio altuaren azpian lehergarriak dira eta zainketa berezia behar dute erabiltzen eta gordetzean.

Ingurumenean eragina

Fluorra duten gasak bizitza osorako eta GWP balio handiak dituzte, ozono geruza atmosferikoan eragin suntsitzailea dutenak eta berotze globala eta ingurumen-kutsadura sor ditzakete.

Electronics bezalako eremu sortzen ari diren gasen aplikazioak sakontzen jarraitzen du, gas industrialen eskaera berria ekartzen duena. Osagai elektroniko handien ekoizpen-ahalmen handiaren arabera, esaterako, erdieroaleen eta panelak agertzen direnak, datozen urteetan Txinan, baita Txinako kontinentaletan, baita material kimiko elektronikoak inportatzeko eskari handia ere, etxeko gas elektronikoko industriak hazkunde tasa altuan egingo du.