Elektronikoagas bereziakgas berezien adar garrantzitsua dira. Erdieroaleen ekoizpenaren ia lotura guztietan sartzen dira eta industria elektronikoen ekoizpenerako ezinbesteko lehengaiak dira, hala nola, eskala ultra-handiko zirkuitu integratuak, pantaila lauko pantaila-gailuak eta eguzki-zelulak.

Erdieroaleen teknologian, fluorra duten gasak asko erabiltzen dira. Gaur egun, gas elektronikoaren merkatu globalean, fluoroa duten gas elektronikoak guztizkoaren % 30 inguru dira. Fluoroa duten gas elektronikoak gas elektroniko berezien osagai garrantzitsuak dira informazio-material elektronikoen arloan. Batez ere, garbiketa-agente gisa eta akuaforte gisa erabiltzen dira, eta dopatzaile gisa ere erabil daitezke, filma eratzeko material gisa, etab. Artikulu honetan, egileak fluoroa duten gas arruntak ezagutzera eramango zaitu.

Fluoroa duten gasak erabili ohi dira honako hauek

Nitrogeno trifluoruroa (NF3): Gordailuak garbitzeko eta kentzeko erabiltzen den gasa, normalean erreakzio-ganberak eta ekipoen gainazalak garbitzeko erabiltzen dena.

Sufre hexafluoruroa (SF6): Oxidoa jalkitzeko prozesuetan eta euskarri isolatzaileak betetzeko gas isolatzaile gisa erabiltzen den fluorinatzailea.

Hidrogeno fluoruroa (HF): silizioaren gainazaletik oxidoak kentzeko eta silizioa eta beste material batzuk grabatzeko aktatzaile gisa erabiltzen da.

Nitrogeno fluoruroa (NF): silizio nitruroa (SiN) eta aluminio nitruroa (AlN) bezalako materialak grabatzeko erabiltzen da.

Trifluorometanoa (CHF3) etatetrafluorometanoa (CF4): fluorurozko materialak grabatzeko erabiltzen da, hala nola silizio fluoruroa eta aluminio fluoruroa.

Hala ere, fluoroa duten gasek zenbait arrisku dituzte, besteak beste, toxikotasuna, korrosibotasuna eta sukotasuna.

Toxikotasuna

Fluoroa duten gas batzuk toxikoak dira, hala nola, hidrogeno fluoruroa (HF), zeinen lurruna oso narritagarria baita larruazaleko eta arnas aparatuetarako eta kaltegarria gizakien osasunerako.

Korrosibotasuna

Hidrogeno fluoruroa eta fluoruro batzuk oso korrosiboak dira eta larruazalean, begietan eta arnasbideetan kalte larriak eragin ditzakete.

Sukotasuna

Fluoruro batzuk sukoiak dira eta aireko oxigenoarekin edo urarekin erreakzionatzen dute bero bizia eta gas toxikoak askatzeko, eta horrek sua edo leherketa eragin dezake.

Presio handiko arriskua

Gas fluoratu batzuk presio altuan lehergarriak dira eta arreta berezia behar dute erabiltzen eta biltegiratzen direnean.

Inpaktua ingurumenean

Fluoroa duten gasek atmosferako bizitza eta GWP balio handiak dituzte, eta horrek eragin suntsitzailea dute atmosferako ozono-geruzan eta berotze globala eta ingurumenaren kutsadura eragin ditzakete.

Elektronika bezalako eremu emergenteetan gasen aplikazioak sakontzen jarraitzen du, eta industria-gasen eskaera berri handia ekarri du. Txina kontinentalean datozen urteetan osagai elektroniko nagusien produkzio-gaitasun berrien ekoizpen-gaitasun handian oinarrituta, hala nola erdieroaleak eta pantaila-panelak, eta baita material kimiko elektronikoen inportazioen ordezkapenaren eskaera handian oinarrituta, etxeko gas elektronikoaren industriak abiaraziko du. hazkunde-tasa altua.