Elektronikoagas bereziakgas berezien adar garrantzitsu bat dira. Erdieroaleen ekoizpenaren ia maila guztietan sartzen dira eta ezinbesteko lehengaiak dira industria elektronikoen ekoizpenerako, hala nola zirkuitu integratu ultra-handiak, pantaila lauak eta eguzki-zelulak.

Erdieroaleen teknologian, fluorra duten gasak asko erabiltzen dira. Gaur egun, gas elektronikoen merkatu globalean, fluorra duten gas elektronikoek guztizkoaren % 30 inguru osatzen dute. Fluorra duten gas elektronikoak informazio-material elektronikoen arloko gas elektroniko berezien osagai garrantzitsua dira. Batez ere garbiketa-agente eta grabatzeko agente gisa erabiltzen dira, eta dopante, film-eratzaile material eta abar gisa ere erabil daitezke. Artikulu honetan, egileak fluorra duten gas arruntak ulertzen lagunduko dizu.

Fluorra duten gasak hauek dira gehien erabiltzen direnak

Nitrogeno trifluoruroa (NF3): Gordailuak garbitzeko eta kentzeko erabiltzen den gasa, normalean erreakzio-ganberak eta ekipoen gainazalak garbitzeko erabiltzen dena.

Sufre hexafluoruroa (SF6)Oxido-deposizio prozesuetan eta isolatzaile-euskarriak betetzeko gas isolatzaile gisa erabiltzen den fluoratzaile-agentea.

Hidrogeno fluoruroa (HF): Siliziozko gainazaleko oxidoak kentzeko eta silizioa eta beste material batzuk grabatzeko agente gisa erabiltzen da.

Nitrogeno fluoruroa (NF): Silizio nitruroa (SiN) eta aluminio nitruroa (AlN) bezalako materialak grabatzeko erabiltzen da.

Trifluorometanoa (CHF3) etatetrafluorometanoa (CF4)Silizio fluoruroa eta aluminio fluoruroa bezalako fluorurozko materialak grabatzeko erabiltzen da.

Hala ere, fluorra duten gasek arrisku batzuk dituzte, besteak beste, toxikotasuna, korrosibotasuna eta sukoitasuna.

Toxikotasuna

Fluorra duten gas batzuk toxikoak dira, hala nola hidrogeno fluoruroa (HF), zeinaren lurruna oso narritagarria den larruazalerako eta arnasbideetarako, eta kaltegarria gizakien osasunerako.

Korrosibotasuna

Hidrogeno fluoruroa eta fluoruro batzuk oso korrosiboak dira eta kalte larriak eragin ditzakete larruazalean, begietan eta arnasbideetan.

Sukoitasuna

Fluoruro batzuk sukoiak dira eta aireko oxigenoarekin edo urarekin erreakzionatzen dute bero bizia eta gas toxikoak askatuz, eta horrek sua edo leherketa eragin dezake.

Presio handiko arriskua

Fluoratu gas batzuk lehergarriak dira presio handian eta kontu berezia behar dute erabiltzean eta biltegiratzean.

Ingurumenean duen eragina

Fluorra duten gasek bizitza atmosferiko eta GWP balio handiak dituzte, eta horrek ozono geruza atmosferikoan eragin suntsitzailea du eta berotze globala eta ingurumen-kutsadura eragin ditzake.

Gasen aplikazioa elektronika bezalako arlo emergenteetan sakontzen jarraitzen du, eta horrek industria-gasen eskaera berri handia dakar. Txinako kontinentean datozen urteetan erdieroaleak eta pantaila-panelak bezalako osagai elektroniko nagusien ekoizpen-ahalmen berri handian oinarrituta, baita material kimiko elektronikoen inportazio-ordezkapenaren eskaera handian ere, barneko gas elektronikoaren industriak hazkunde-tasa handia ekarriko du.