Ekoizpen prozesu nahiko aurreratuak dituzten Wafer erdieroaleen fabrikazio prozesuan, ia 50 gas mota desberdin behar dira. Gasak, oro har, ontziratutako gasetan banatzen dira etaGas bereziak.

Mikroelektronika eta erdieroaleen industrietan gasoak aplikatzea Gasak erabiltzeak zeregin garrantzitsua izan du prozesu erdieroaleetan, batez ere prozesu erdieroaleek asko erabiltzen dituzte hainbat industrietan. Ulsi, TFT-LCD-tik egungo mikro-elektromekanikako (MEMS) industria, prozesu erdieroaleak produktuaren fabrikazio prozesu gisa erabiltzen dira, besteak beste, grabaketa lehorra, oxidazioa, ioi inplantazioa, zinema meheko departamendua, etab.

Adibidez, jende askok badaki txipak hareaz eginda daudela, baina txipa fabrikatzeko prozesu osoa aztertzen ari dira, material gehiago behar dira, hala nola, fotoresista, leuntzeko likidoa, xede materiala, gas berezia, gas berezia, gas berezia eta abar. Atzera-amaierako ontziak ere substratuak, interpelatzaileak, berunezko markoak, materialen lotura eta abar ere eskatzen ditu. Gas bereziko elektronikoak Silikonontzien ondoren, semicondugileen fabrikazio kostuen bigarren materialik handiena da, eta ondoren maskarak eta fotoresistek.

Gasaren garbitasunak eragin erabakigarria du osagaien errendimenduaren eta produktuen errendimenduan, eta gasaren hornikuntzaren segurtasuna langileen osasunarekin eta fabrikaren funtzionamenduaren segurtasunarekin lotuta dago. Zergatik du gasaren garbitasunak hain eragin handia du prozesuaren lerroan eta langileetan? Hau ez da gehiegizkoa, baina gasaren beraren ezaugarri arriskutsuak zehazten ditu.

Gas komunen sailkapena erdieroale industrian

Gas arrunta

Gas arrunta ere gas gehiena deitzen zaio: gas industriala aipatzen da garbitasun eskakizuna 5n baino txikiagoa eta ekoizpen eta salmenta bolumen handia duena. Aireko bereizketa gasaren eta gas sintetikoan banatu daiteke prestaketa metodo desberdinen arabera. Hidrogenoa (H2), nitrogenoa (N2), Oxigenoa (O2), Argon (A2), etab.;

Berezitasun Gas

Gas espezializatua eremu jakin batzuetan erabiltzen den gas industriala aipatzen da eta garbitasun, barietate eta propietateetarako baldintza bereziak ditu. Batez ereSih4, Ph3, b2h6, a8h3,Hl, Cf4,Nh3, Pocl3, sih2cl2, sihcl3,Nh3, BCL3, Sif4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6... eta abar.

Gas esparru motak

Gas bereziko motak: korrosiboa, toxikoa, sukoia, errekuntza-laguntza, inertea eta abar.
Gas erdieroaleen ohiko gasak honela sailkatzen dira:
(i) Corrosiboa / toxikoa:Hl, BF3, WF6, HBR, Sih2Cl2, NH3, PH3, CL2,BCL3...
(ii) sukoiak: H2,C4,Sih4, Ph3, ash3, sih2cl2, b2h6, ch2f2, ch3f, co ...
(iii) erregaiak: O2, CL2, N2O, NF3 ...
(iv) inertea: N2,CF4, C2F6,C4F8,SF6, Co2,Ne,Kr, He ...

Txipa erdieroaleen fabrikazio prozesuan, 50 gas mota desberdin inguru erabiltzen dira (gas bereziak aipatzen dira) oxidazio, difusio, gordailu, grabaketa, injekzio, fotolitografia eta bestelako prozesuetan, eta prozesuaren urrats osoak ehunka gainditzen dira. Adibidez, Ph3 eta Ash3 iturri arseniko gisa erabiltzen dira Ion inplantazio prozesuan, F-oinarritutako gasen CF4, CF3, SF6 eta halogeno gasak CI2, BCI3, HBR erabiltzen dira grabaketa prozesuan, SIH4, NH3, N2O depositu prozesuan, F2 / KR / NE, KR / NE-n fotolitografia prozesuan.

Aurreko alderdietatik, ulertu dezakegu gas erdieroale askok giza gorputzarentzat kaltegarriak direla. Bereziki, gasak, esaterako, Sih4, bereizten dira. Ihes egiten duten bitartean, airean oxigenoarekin bortizki erreakzionatuko dute eta erretzen hasten dira; eta Ash3 oso toxikoa da. Isurketa arinak jendearen bizitzari kalte egin diezaioke, beraz, gas bereziak erabiltzeko kontrol-sistemaren diseinua segurtasunerako baldintzak bereziki altuak dira.

Erdieroaleek garbitasun handiko gasak behar dituzte "hiru gradu" izatea

Gas garbitasuna

Gasaren garbitasun giroaren edukia gasaren garbitasunaren ehuneko gisa adierazten da, hala nola,% 99,9999. Orokorrean, gas berezi elektronikoetarako garbitasun eskakizuna 5n-6n-ra iristen da eta garbitasun atmosferaren edukien bolumen-erlazioak ere adierazten du (milioi bakoitzeko zati bakoitzeko), PPB (bilioi bakoitzeko zatia), eta PPT (bilioi bakoitzeko zatia). Erdieroale Elektronikoaren eremuak gas berezien garbitasun eta kalitatearen egonkortasunerako baldintza handienak ditu, eta gas bereziko sareen garbitasuna 6n baino handiagoa da.

Lehortasun

Gasan dagoen uretan edo hezetasunaren edukia, normalean ihintza puntuan adierazten da, esaterako, ihintza puntu atmosferikoa -70 ℃.

Garbitasun

Gasaren partikula kutsatzaileen kopurua, μm-ko partikula duten partikulak, zenbat partikula / m3 adierazten dira. Aire konprimitua izanik, normalean saihestezina den hondakin solidoen mg / m3-n adierazten da, olio-edukia barne hartzen duena.