Ekoizpen prozesu nahiko aurreratuak dituzten erdieroaleen obleen galdategien fabrikazio-prozesuan, ia 50 gas mota desberdin behar dira. Gasak, oro har, ontziratu gabeko gasetan banatzen dira etagas bereziak.

Gasen aplikazioa mikroelektronika eta erdieroaleen industrietan Gasen erabilerak beti izan du zeresan garrantzitsua erdieroaleen prozesuetan, batez ere erdieroaleen prozesuak asko erabiltzen dira hainbat industriatan. ULSItik, TFT-LCDtik gaur egungo mikroelektromekanikoko (MEMS) industriara, erdieroaleen prozesuak produktuak fabrikatzeko prozesu gisa erabiltzen dira, besteak beste, grabaketa lehorra, oxidazioa, ioien ezarpena, film meheen deposizioa, etab.

Esaterako, jende askok badaki txirbilak hondarrez eginak direla, baina txirbilak fabrikatzeko prozesu osoa ikusita, material gehiago behar dira, hala nola, fotorresistentzia, leuntzeko likidoa, xede-materiala, gas berezia, etab. Atzeko ontziratzeak hainbat materialetako substratuak, tartekatzaileak, berunezko markoak, lotura-materialak eta abar ere behar ditu. Gas berezi elektronikoak erdieroaleen fabrikazio-kostuen bigarren materiala dira siliziozko obleen atzetik, maskarak eta fotoerresistentzien atzetik.

Gasaren garbitasunak eragin erabakigarria du osagaien errendimenduan eta produktuaren etekinean, eta gas hornikuntzaren segurtasuna langileen osasunarekin eta fabrikako funtzionamenduaren segurtasunarekin lotuta dago. Zergatik du hain eragin handia gasaren garbitasunak prozesu-lerroan eta langileetan? Hau ez da gehiegikeria, baina gasaren beraren ezaugarri arriskutsuek zehazten dute.

Erdieroaleen industrian ohiko gasen sailkapena

Gas arrunta

Gas arruntari ontziratu gabeko gasa ere deitzen zaio: 5N baino garbitasun-eskakizuna txikiagoa duen eta ekoizpen- eta salmenta-bolumen handia duen gas industrialari egiten zaio erreferentzia. Airea bereizteko gasa eta gas sintetikoa prestatzeko metodo ezberdinen arabera bana daiteke. Hidrogenoa (H2), nitrogenoa (N2), oxigenoa (O2), argona (A2), etab.;

Gas Espezialitatea

Gas espezialitateak eremu zehatzetan erabiltzen den eta purutasun, barietate eta propietateetarako baldintza bereziak dituen gas industrialari deritzo. NagusikiSiH4, PH3, B2H6, A8H3,HCL, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… eta abar.

Gas espezial motak

Gas berezi motak: korrosiboak, toxikoak, sukoiak, errekuntza-euskarrikoak, geldoak, etab.
Gehien erabiltzen diren gas erdieroaleak honela sailkatzen dira:
(i) Korrosiboak/toxikoak:HCl、BF3、 WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、PH3、Cl2、BCl3…
(ii) Sukoia: H2.CH4,SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO...
(iii) Erregaiak: O2、Cl2、N2O、NF3...
(iv) Inertea: N2、CF4、C2F6、C4F8,SF6、CO2、Ne,Kr、 Bera…

Txip erdieroaleen fabrikazio prozesuan, 50 bat gas berezi mota (gas berezi gisa aipatzen direnak) erabiltzen dira oxidazio, difusio, deposizio, grabatu, injekzio, fotolitografia eta beste prozesu batzuetan, eta prozesu osoaren urratsak ehunka gainditzen ditu. Esate baterako, PH3 eta AsH3 fosforo eta artseniko iturri gisa erabiltzen dira ioiak ezartzeko prozesuan, F-oinarritutako CF4, CHF3, SF6 eta halogeno gasak CI2, BCI3, HBr erabili ohi dira grabaketa-prozesuan, SiH4, NH3, N2O. deposizio-filmaren prozesua, F2/Kr/Ne, Kr/Ne fotolitografia prozesuan.

Aurreko alderdietatik, gas erdieroale asko giza gorputzarentzat kaltegarriak direla uler dezakegu. Bereziki, gas batzuk, SiH4 adibidez, auto-sutzen dira. Ihes egiten duten bitartean, airean dagoen oxigenoarekin bortizki erreakzionatuko dute eta erretzen hasiko dira; eta AsH3 oso toxikoa da. Isuri txiki batek pertsonen bizitzan kalteak eragin ditzake, beraz, gas bereziak erabiltzeko kontrol-sistemaren diseinuaren segurtasun baldintzak bereziki handiak dira.

Erdieroaleek purutasun handiko gasak behar dituzte "hiru gradu" izateko

Gasaren garbitasuna

Gasaren ezpurutasun-atmosferaren edukia gasaren garbitasunaren ehuneko gisa adierazi ohi da, adibidez, %99,9999. Orokorrean, gas berezi elektronikoen purutasun-eskakizuna 5N-6N-ra iristen da, eta ezpurutasun atmosferaren edukiaren ppm (milioi bakoitzeko), ppb (milioi bakoitzeko zati) eta ppt (bilioi bakoitzeko zati) bolumen-erlazioan adierazten da. Erdieroale elektronikoen eremuak gas berezien garbitasun eta kalitate egonkortasunerako eskakizun handienak ditu eta gas berezi elektronikoen purutasuna 6N baino handiagoa da, oro har.

Lehortasuna

Gasaren arrastoko uraren edukia, edo hezetasuna, normalean ihintz-puntuan adierazten da, hala nola atmosferako ihintz-puntua -70 ℃.

Garbitasuna

Gasean dauden partikula kutsatzaileen kopurua, µm-ko partikula-tamaina duten partikulak, zenbat partikula/M3tan adierazten da. Aire konprimituarentzat, normalean, saihestezinezko hondakin solidoen mg/m3-tan adierazi ohi da, olio-edukia barne.