Erdieroaleen oblea-galdaketa-lantegien fabrikazio-prozesuan, ekoizpen-prozesu nahiko aurreratuak dituztenetan, ia 50 gas mota desberdin behar dira. Gasak, oro har, gas masiboetan eta gasetan banatzen dira.gas bereziak.

Gasen aplikazioa mikroelektronika eta erdieroaleen industrietan Gasen erabilerak beti izan du paper garrantzitsua erdieroaleen prozesuetan, batez ere erdieroaleen prozesuak asko erabiltzen dira hainbat industriatan. ULSI, TFT-LCD eta egungo mikroelektromekanikako (MEMS) industriaraino, erdieroaleen prozesuak produktuen fabrikazio prozesu gisa erabiltzen dira, besteak beste, grabatu lehorra, oxidazioa, ioien inplantazioa, film meheen deposizioa, etab.

Adibidez, jende askok daki txipak hareaz eginda daudela, baina txiparen fabrikazio prozesu osoari erreparatuta, material gehiago behar dira, hala nola fotoerresistentea, leuntzeko likidoa, helburu-materiala, gas berezia, etab. ezinbestekoak dira. Atzeko muturreko ontziratzeak substratuak, tartekatzaileak, berunezko markoak, lotura-materialak, etab. ere behar ditu hainbat materialez. Gas berezi elektronikoak dira erdieroaleen fabrikazio-kostuen bigarren material handiena siliziozko obleaken ondoren, eta ondoren maskarak eta fotoerresistenteak datoz.

Gasaren purutasunak eragin erabakigarria du osagaien errendimenduan eta produktuaren etekinean, eta gasaren horniduraren segurtasuna langileen osasunarekin eta fabrikaren funtzionamenduaren segurtasunarekin lotuta dago. Zergatik du gasaren purutasunak hainbesteko eragin prozesu-lerroan eta langileengan? Ez da gehiegikeria bat, gasaren beraren ezaugarri arriskutsuek zehazten dute.

Erdieroaleen industrian ohiko gasen sailkapena

Gas arrunta

Gas arruntari gas masiboa ere deitzen zaio: 5N baino gutxiagoko purutasun-eskakizuna eta ekoizpen- eta salmenta-bolumen handia duen gas industriala adierazten du. Aire-bereizketako gas eta gas sintetiko gisa bana daiteke prestaketa-metodo desberdinen arabera. Hidrogenoa (H2), nitrogenoa (N2), oxigenoa (O2), argona (A2), etab.;

Gas Berezia

Gas bereziak eremu espezifikoetan erabiltzen den eta purutasun, barietate eta propietateei buruzko baldintza bereziak dituen gas industriala adierazten du. Batez ereSiH4, PH3, B2H6, A8H3,HCL, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… eta abar.

Gas berezi motak

Gas berezien motak: korrosiboak, toxikoak, sukoiak, errekuntza laguntzen dutenak, geldoak, etab.
Erdieroaleen gas erabilienak honela sailkatzen dira:
(i) Korrosiboa/toxikoa:HClBF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2,BCl3…
(ii) Sukoia: H2,CH4、SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO...
(iii) Erregaia: O2、Cl2、N2O、NF3…
(iv) Inertea: N2,CF4C2F6C4F8、SF6CO2Ne、KrBerak…

Erdieroale txipen fabrikazio prozesuan, 50 gas berezi mota inguru (gas bereziak deiturikoak) erabiltzen dira oxidazioan, difusioan, deposizioan, grabatzean, injekzioan, fotolitografian eta beste prozesu batzuetan, eta prozesuko urrats guztiak ehunka baino gehiago dira. Adibidez, PH3 eta AsH3 fosforo eta artseniko iturri gisa erabiltzen dira ioien inplantazio prozesuan, CF4, CHF3, SF6 F-oinarritutako gasak eta CI2, BCI3, HBr halogeno gasak grabatze prozesuan erabiltzen dira normalean, SiH4, NH3, N2O deposizio film prozesuan, eta F2/Kr/Ne, Kr/Ne fotolitografia prozesuan.

Goiko alderdietatik, uler dezakegu erdieroale diren gas asko kaltegarriak direla giza gorputzarentzat. Bereziki, gas batzuk, hala nola SiH4, berez su hartzen dute. Isurtzen duten bitartean, aireko oxigenoarekin bortizki erreakzionatuko dute eta erretzen hasiko dira; eta AsH3 oso toxikoa da. Edozein ihes txikik pertsonen bizitzan kalteak eragin ditzake, beraz, gas bereziak erabiltzeko kontrol sistemaren diseinuaren segurtasun-eskakizunak bereziki altuak dira.

Erdieroaleek gas puruek "hiru gradu" izan behar dituzte

Gasaren purutasuna

Gasaren ezpurutasun-atmosferaren edukia normalean gasaren purutasunaren ehuneko gisa adierazten da, hala nola % 99,9999. Oro har, gas elektroniko berezien purutasun-eskakizuna 5N-6N da, eta ezpurutasun-atmosferaren edukiaren ppm (milioi bakoitzeko zatia), ppb (mila milioi bakoitzeko zatia) eta ppt (bilioi bakoitzeko zatia) bolumen-erlazioaren bidez ere adierazten da. Gas berezien purutasun eta kalitate-egonkortasunari dagokionez, erdieroale elektronikoen arloak ditu eskakizun handienak, eta gas elektroniko berezien purutasuna, oro har, 6N baino handiagoa da.

Lehortasuna

Gasean dagoen ur arrastoen edukia, edo hezetasuna, normalean ihintz-puntuan adierazten da, hala nola -70 ℃-ko ihintz-puntu atmosferikoa.

Garbitasuna

Gasean dauden kutsatzaile partikula kopurua, µm-ko partikula tamaina duten partikulak, partikula/M3 kopurutan adierazten da. Aire konprimituaren kasuan, normalean saihestezinak diren hondakin solidoen mg/m3-tan adierazten da, olio edukia barne.