Tungsteno hexafluoruroa (WF6) wafer azalaren azalean metatzen da CVD prozesu baten bidez, metalezko konexio lubakiak bete eta geruzen arteko metalezko interkonexioa osatuz.
Hitz egin dezagun Plasmaren lehenik. Plasma gai modu bat da, batez ere, elektroi askeek eta kargatutako ioiek osatzen dute. Unibertsoan oso zabal dago eta maiz izaten da laugarren egoeraren arabera. Plasma estatua deitzen zaio, "plasma" ere deitzen zaio. Plasmak eroankortasun elektriko handia du eta eremu elektromagnetikoarekin akoplamendu-efektu sendoa du. Partzialki ionizatutako gasa da, elektroiek, ioiek, erradikal askeak, partikula neutroak eta fotoi osatuak. Plasma bera fisikoki eta kimikoki aktiboak diren partikulak dituen elektrizitate neutroa da.
Azalpen zuzena da energia handiko ekintzapean, molekulak van der waals indarra, lotura kimikoko indarra eta Coulomb indarra gaindituko dituela eta elektrizitate neutroaren forma aurkeztea. Aldi berean, kanpoaldean emandako energia altuak aurreko hiru indarrak gainditzen ditu. Funtzioak, elektroiek eta ioiek egoera librea aurkezten dute, arlo magnetiko baten modulazioan artifizialki erabil daitekeena, esaterako, erdieroaleen grabaketa prozesua, CVD prozesua, PVDa eta IMP prozesua.
Zer da energia altua? Teorian, bai tenperatura altua bai maiztasun handiko RF erabil daiteke. Orokorrean, tenperatura altua ia ezinezkoa da lortzea. Tenperatura-baldintza hori oso altua da eta eguzkiaren tenperaturaren ondoan egon daiteke. Funtsean ezinezkoa da prozesuan lortzea. Hori dela eta, industriak maiztasun handiko RF erabiltzen du normalean hori lortzeko. Plasma RF 13MHz + bezain altua izan daiteke.
Tungsteno hexafluoruroa arlo elektriko baten ekintzaren azpian plasmoa da, eta gero eremu magnetiko batek lurruna gordetzen du. W atomoak neguko antzara lumaren antzekoak dira eta lurrera erortzen dira grabitatearen ekintzapean. Pixkanaka, W atomoak zuloetan metatzen dira eta azkenik zuloen bidez beteak dira metalezko konexioak osatzeko. Zuloen bidez atomoetan gordetzeaz gain, gainazalaren gainazalean ere gordeko al dira? Bai, zalantzarik gabe. Oro har, W-CMP prozesua erabil dezakezu, hau da, kentzeko artezteko prozesu mekanikoa deitzen duguna. Elur astunaren ondoren zorua botatzeko erratza erabiltzea da. Lurrean dagoen elurra izerdituta dago, baina lurreko zuloko elurra geratuko da. Behera, gutxi gorabehera.
Ordua: 2012-20-24
