2018an, zirkuitu integratuetarako gas elektronikoaren merkatu globalak 4.512 mila milioi dolar estatubatuarretara iritsi zen, aurreko urteko aldi beraren aldean % 16ko igoera izanik. Erdieroaleetarako gas elektroniko berezien industriaren hazkunde-tasa handiak eta merkatuaren tamaina handiak gas elektroniko berezien ordezkapen-plan nazionala bizkortu dute!
Zer da elektroi gasa?
Gas elektronikoa erdieroaleen, pantaila lauen, argi-igorle diodoen, eguzki-zelulen eta beste produktu elektroniko batzuen ekoizpenean erabiltzen den oinarrizko iturri-materiala da, eta oso erabilia da garbiketan, grabatzean, filmak eratzean, dopatzean eta beste prozesu batzuetan. Gas elektronikoaren aplikazio-eremu nagusiak hauek dira: elektronika-industria, eguzki-zelulak, komunikazio mugikorrak, autoen nabigazioa eta autoen audio eta bideo sistemak, aeroespaziala, industria militarra eta beste hainbat arlo.
Gas berezi elektronikoak zazpi kategoriatan bana daitezke bere konposizio kimikoaren arabera: silizioa, artsenikoa, fosforoa, boroa, metal hidruroa, haluroa eta metal alkoxidoa. Zirkuitu integratuetan aplikazio-metodo desberdinen arabera, dopatze-gasa, epitaxia-gasa, ioi-inplantazio-gasa, argi-igorle diodo-gasa, grabatze-gasa, lurrun kimikoaren deposizio-gasa eta oreka-gasa bana daitezke. 110 gas berezi unitate baino gehiago erabiltzen dira erdieroaleen industrian, eta horietatik 30 baino gehiago erabiltzen dira normalean.
Oro har, erdieroaleen ekoizpen-industriak gasak bi motatan banatzen ditu: gas arruntak eta gas bereziak. Horien artean, ohiko gasak hornidura zentralizatu bati egiten dio erreferentzia eta gas asko erabiltzen du, hala nola N2, H2, O2, Ar, He, etab. Gas bereziak erdieroaleen ekoizpen-prozesuan erabiltzen diren gas kimiko batzuei egiten die erreferentzia, hala nola luzapena, ioien injekzioa, nahasketa, garbiketa eta maskara-eraketa, eta horixe da gaur egun gas elektroniko berezi deitzen duguna, hala nola purutasun handiko SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, etab.
Erdieroaleen industriaren ekoizpen-prozesu osoan, txiparen hazkuntzatik hasi eta azken gailuaren ontziratzeraino, ia lotura guztiak bereizezinak dira gas elektroniko bereziarekin, eta erabilitako gasaren aniztasunarekin eta kalitate-eskakizun handiekin, beraz, gas elektronikoak material erdieroaleak ditu. "Janaria".
Azken urteotan, Txinako osagai elektroniko nagusiek, hala nola erdieroaleek eta pantaila-panelek, ekoizpen-ahalmen berria handitu dute, eta material kimiko elektronikoen inportazio-ordezkapenaren eskaera handia dago. Gas elektronikoen posizioa gero eta nabarmenagoa bihurtu da erdieroaleen industrian. Gas elektronikoaren industria nazionalak hazkunde azkarra ekarriko du.
Gas elektroniko bereziek purutasun-eskakizun oso altuak dituzte, purutasuna eskakizunak betetzen ez baditu, gas elektroniko berezietan dauden ur-lurruna eta oxigenoa bezalako ezpurutasun-taldeek erraz sortuko baitute oxido-filma erdieroalearen gainazalean, eta horrek gailu elektronikoen bizitza erabilgarrian eragina du, eta ezpurutasun-partikulak erdieroaleen zirkuitulaburrak eta zirkuituen kalteak eragin ditzakete. Esan daiteke purutasunaren hobekuntzak funtsezko zeregina duela gailu elektronikoen ekoizpenaren errendimenduan eta errendimenduan.
Erdieroaleen industriaren etengabeko garapenarekin, txipen fabrikazio prozesua hobetzen ari da, eta orain 5nm-ra iritsi da, Moore-ren Legearen mugara hurbiltzear dagoena, hau da, giza ile baten diametroaren hogeiren baten baliokidea (0,1 mm inguru). Beraz, honek erdieroaleek sortutako gas elektroniko berezien purutasunari buruzko eskakizun handiagoak ere ezartzen ditu.
Argitaratze data: 2021eko abenduaren 15a
