2018an, zirkuitu integratuen gas elektronikoaren merkatu globala 4.512 milioi dolarra iritsi zen, urte arteko % 16ko hazkundea. Erdieroaleetarako gas berezi elektronikoaren industriaren hazkunde-tasa handiak eta merkatuaren tamaina handiak gas berezi elektronikoaren etxeko ordezkapen plana bizkortu dute!
Zer da elektroi gasa?
Gas elektronikoa erdieroaleak, pantaila lauak, argi-igorleko diodoak, eguzki-zelulak eta beste produktu elektroniko batzuk ekoizteko erabiltzen den oinarrizko iturburu-materialari egiten dio erreferentzia, eta oso erabilia da garbiketan, akuafortean, filmen eraketan, dopatzean eta beste prozesu batzuetan. Gas elektronikoaren aplikazio-eremu nagusiak elektronika industria, eguzki-zelulak, komunikazio mugikorrak, autoen nabigazioa eta autoen audio eta bideo sistemak, aeroespaziala, industria militarra eta beste hainbat arlo dira.
Gas berezi elektronikoa zazpi kategoriatan bana daiteke bere konposizio kimikoaren arabera: silizioa, artsenikoa, fosforoa, boroa, hidruro metalikoa, halogenuroa eta alkoxido metalikoa. Zirkuitu integratuetan aplikatzeko metodo ezberdinen arabera, doping gasa, epitaxia gasa, ioi-inplantazio gasa, argi-igorleko diodo gasa, akuaforte-gasa, lurrun kimikoa deposizio-gasa eta orekako gasa bana daiteke. Erdieroaleen industrian 110 gas berezi baino gehiago erabiltzen dira, eta horietatik 30 baino gehiago erabiltzen dira normalean.
Orokorrean, erdieroaleen ekoizpen-industriak gasak bi motatan banatzen ditu: gas arruntak eta gas bereziak. Horien artean, erabili ohi den gasak hornidura zentralizatua aipatzen du eta gas asko erabiltzen du, hala nola N2, H2, O2, Ar, He, etab. Gas bereziak erdieroaleen ekoizpen-prozesuan erabiltzen diren gas kimiko batzuei egiten die erreferentzia, esaterako. luzapena, ioi-injekzioa, nahasketa, garbiketa eta maskararen eraketa, hau da, gaur egun gas elektroniko berezi deitzen dioguna, hala nola purutasun handiko SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, etab.
Erdieroaleen industriaren ekoizpen prozesu osoan, txiparen hazkuntzatik azken gailuaren ontzira arte, ia esteka guztiak ezin dira gas elektroniko berezietatik eta erabilitako gas barietate eta kalitate handiko eskakizunetatik, beraz, gas elektronikoak material erdieroaleak ditu. “Janaria”.
Azken urteotan, Txinako osagai elektroniko nagusiak, hala nola erdieroaleak eta pantaila-panelak, produkzio-ahalmen berrian handitu dira, eta material kimiko elektronikoen inportazioen ordezkapenerako eskaera handia dago. Erdieroaleen industrian gas elektronikoen posizioa gero eta nabarmenagoa da. Etxeko gas elektronikoaren industriak hazkunde azkarra ekarriko du.
Gas berezi elektronikoak garbitasun-eskakizun oso handiak ditu, zeren purutasuna eskakizunetara egokitzen ez bada, gas berezi elektronikoko ur-lurruna eta oxigenoa bezalako ezpurutasun-taldeek erraz eratuko dute oxido-filma erdieroalearen gainazalean, eta horrek eragiten du. Gailu elektronikoen iraupena eta gas berezi elektronikoak Ezpurutasun partikulek zirkuitu laburrak eta zirkuituak kalteak sor ditzakete. Esan daiteke garbitasunaren hobekuntzak ezinbesteko zeregina duela gailu elektronikoen ekoizpenaren errendimenduan eta errendimenduan.
Erdieroaleen industriaren etengabeko garapenarekin, txipak fabrikatzeko prozesuak hobetzen jarraitzen du, eta orain 5 nm-ra iritsi da, hau da, Moore-ren Legearen mugara hurbiltzear dagoena, giza ile baten diametroaren hogeiren baten baliokidea dena ( 0,1 mm inguru). Hori dela eta, erdieroaleek ekoizten duten gas berezi elektronikoaren garbitasunari buruzko baldintza handiagoak ere ezartzen ditu honek.
Argitalpenaren ordua: 2021-12-15
