Hidrogeno kloruroaKolorerik gabeko gasa da usain zurrunbiloarekin. Azido hidroklorikoa deritzo, azido klorhidrikoa ere deitzen zaio. Hidrogeno kloruroa oso disolbagarria da uretan. 0 ºC-tan, 1 ur bolumen hidrogeno kloruroaren 500 bolumen inguru desegin daitezke.

Honako propietate eta ezaugarriak ditu:

1. Garbitasun handia

Kalifikazio elektronikoaren garbitasunahidrogeno kloruroaOso altua da, normalean ppm edo beheko mailan, ez da ezpurutasunik ezartzen erdieroaleen fabrikazio prozesuan.

2. Inertess

Beste substantzia askorekin erreakzionatzen ez duen gaso kimikoki inertea da, oso garrantzitsua da material eta ekipamendu erdieroaleen kutsadura ekiditeko.

3. Egonkortasun altua

Kalifikazio elektronikoahidrogeno kloruroaOrokorrean kimika egonkorra du semiconducter prozesamendu fidagarria ziurtatzeko.

Erdieroaleen tramitazioan, hidrogeno kloruroaren aplikazio elektronikoaren aplikazio nagusiak hauek dira:

1. Gainazal garbiketa eta prestaketa

Gainazal garbitzaile eraginkorra, maila elektronikoahidrogeno kloruroaGeruza edo film epituxialaren kalitatea eta garbitasuna kentzeko oxidoak eta ezpurutasunak kentzeko erabiltzen da.

2. hazkunde laguntza

Prozesu epituxialean gainazaleko tratamendu agente gisa erabiltzen da, geruza epituxialaren kalitatea hobetzen laguntzen du, sareko bat datozenak hobetzen ditu eta sareko akatsak eratzea murrizten du.

3. Substratuaren tratamendua

Gailu erdieroaleak prestatu aurretik, kalifikazio elektronikoahidrogeno kloruroaSubstratuaren gainazala tratatzeko erabil daiteke geruza epituxialaren eta substratuaren arteko atxikimendua hobetzeko oinarri egonkorra osatzeko.

4. Gordetako agente osagarria

Vapor Commor Gordena (CVD) edo lurruneko gordailu fisikoa (PVD) prozesuan, kalifikazio elektronikoa hidrogeno kloruroa gas fasearen transferentzia euskarri gisa erabil daiteke material erdieroaleen gordailuaren erreakzioan parte hartzeko.

5. Gas-fasearen transferentzia agentea

Gas-fasearen transferentzia agente gisa, beste aitzakiatzaile gaseosoak erreakzio ganberan sartzen dira, gordailu-tasa eta materialaren uniformetasuna egokitzen laguntzeko.

Ezaugarri hauek maila elektronikoa egiten dutehidrogeno kloruroaSemikoretako teknologiako prozesatzeko agente garrantzitsua, azken gailuaren errendimenduan eta fidagarritasunean funtsezko eragina du.

Erdieroaleen tramitazioan erabiltzeaz gain, hidrogeno kloruro elektronikoak beste arlo batzuetan aurki daitezke: garbitasun handiko materialak, erregai-zelulak, erdieroaleen hazkundea, lurrunaren fasea, materialen azterketa, ikerketa kimikoa.

Orokorrean, maila elektronikoahidrogeno kloruroaGas polifazetikoa eta altua da, erdieroaleen fabrikaziotik kanpo aplikazio ugari dituena.