Hidrogeno kloruroagas kolorgegabea da, usain sarkorra duena. Bere ur-disoluzioa azido klorhidrikoa deitzen da, azido klorhidrikoa bezala ere ezagutzen dena. Hidrogeno kloruroa oso disolbagarria da uretan. 0 °C-tan, ur bolumen 1ek 500 hidrogeno kloruro bolumen inguru disolba ditzake.

Honako propietate eta ezaugarri hauek ditu:

1. Purutasun handia

Kalifikazio elektronikoaren purutasunahidrogeno kloruroaoso altua da, normalean ppm-tan edo maila baxuagoan, erdieroaleen fabrikazio-prozesuan ezpurutasunik sartzen ez dela ziurtatzeko.

2. Inertzia

Kimikoki gas geldoa da, beste substantzia askorekin erreakzionatzen ez duena, eta hori oso garrantzitsua da erdieroale materialak eta ekipoak kutsatzea saihesteko.

3. Egonkortasun handia

Kalifikazio elektronikoahidrogeno kloruroaoro har, kimika egonkorra du erdieroaleen prozesamendu fidagarria bermatzeko.

Erdieroaleen prozesamenduan, hidrogeno kloruro elektronikoaren aplikazio nagusiak hauek dira:

1. Gainazalen garbiketa eta prestaketa

Gainazal garbitzaile eraginkor gisa, maila elektronikoahidrogeno kloruroasubstratuaren gainazaleko oxidoak eta ezpurutasunak kentzeko erabiltzen da, epitaxial geruza edo filmaren kalitatea eta purutasuna bermatzeko.

2. Hazkunde epitaxialaren laguntza

Epitaxial prozesuan gainazaleko tratamendu agente gisa erabilia, epitaxial geruzaren kalitatea hobetzen, sarearen parekatzea hobetzen eta sareko akatsen eraketa murrizten laguntzen du.

3. Substratuaren aurretratamendua

Erdieroaleen gailuak prestatu aurretik, maila elektronikoahidrogeno kloruroasubstratuaren gainazala tratatzeko erabil daiteke, epitaxial geruzaren eta substratuaren arteko atxikimendua hobetzeko oinarri egonkor bat osatzeko.

4. Gordailuaren laguntzaile-agentea

Lurrun-deposizio kimikoaren (CVD) edo lurrun-deposizio fisikoaren (PVD) prozesuan, hidrogeno kloruro maila elektronikoa erabil daiteke fase gaseosoko transferentzia-euskarri gisa, materialen erdieroaleen deposizio-erreakzioan parte hartzeko.

5. Gas-faseko transferentzia-agentea

Gas-faseko transferentzia-agente gisa, beste gas-aitzindari batzuk sartzen dira erreakzio-ganberan, materialaren deposizio-tasa eta uniformetasuna doitzen laguntzeko.

Ezaugarri hauek maila elektronikoa ematen diotehidrogeno kloruroaerdieroaleen teknologian prozesatzeko agente garrantzitsua da, eta azken gailuaren errendimenduan eta fidagarritasunean eragin handia du.

Erdieroaleen prozesamenduan erabiltzeaz gain, hidrogeno kloruro elektronikoak beste arlo batzuetan ere erabilera ugari aurki ditzake, besteak beste: purutasun handiko materialen prestaketa, erregai-pilak, erdieroaleen materialen hazkuntza, lurrun-faseko litografia, materialen analisia, ikerketa kimikoa.

Oro har, maila elektronikoahidrogeno kloruroagas polifazetiko eta purua da, erdieroaleen fabrikaziotik kanpo aplikazio ugari dituena.