Laser gasa batez ere laser bidezko erreketa eta litografia gasa egiteko erabiltzen da elektronika industrian. Telefono mugikorren pantailen berrikuntzari eta aplikazio eremuen hedapenari esker, tenperatura baxuko polisilizio merkatuaren eskala gehiago zabalduko da, eta laser bidezko erreketa prozesuak TFT-en errendimendua nabarmen hobetu du. Erdieroaleak fabrikatzeko ArF exzimer laserrean erabiltzen diren neon, fluor eta argon gasen artean, neonak laser gas nahasketaren % 96 baino gehiago hartzen du. Erdieroaleen teknologia fintzearekin batera, exzimer laserren erabilera handitu egin da, eta esposizio bikoitzeko teknologiaren sarrerak ArF exzimer laserrek kontsumitzen duten neon gasaren eskaria nabarmen handitu du. Gas espezializatu elektronikoen lokalizazioaren sustapenari esker, etxeko fabrikatzaileek merkatu hazkunde espazio hobea izango dute etorkizunean.
Litografia makina erdieroaleen fabrikazioaren oinarrizko ekipamendua da. Litografiak transistoreen tamaina definitzen du. Litografia industria-katearen garapen koordinatua da litografia-makinaren aurrerapenaren gakoa. Fotoerresistentea, fotolitografia-gasa, fotomaskara eta estaldura- eta garapen-ekipoak bezalako erdieroale-materialek eduki teknologiko handia dute. Litografia-gasa litografia-makinak laser ultramore sakona sortzen duen gasa da. Litografia-gas desberdinek uhin-luzera desberdinetako argi-iturriak sor ditzakete, eta haien uhin-luzerak zuzenean eragiten dio litografia-makinaren bereizmenari, eta hori litografia-makinaren nukleoetako bat da. 2020an, litografia-makinen salmenta global osoak 413 unitatekoak izango ziren, eta horietatik ASMLren 258 unitateko salmentak % 62 izan ziren, Canonen 122 unitateko salmentak % 30 eta Nikonen 33 unitateko salmentak % 8.
Argitaratze data: 2021eko urriaren 15a
