Laser gasa elektronika industrian laser bidezko errekuzitzeko eta litografiako gasetarako erabiltzen da batez ere. Telefono mugikorren pantailen berrikuntzaz eta aplikazio eremuen hedapenez baliatuz, tenperatura baxuko polisiliziozko merkatuaren eskala gehiago zabalduko da eta laser bidezko erretilu prozesuak TFTen errendimendua nabarmen hobetu du. Erdieroaleak fabrikatzeko ArF exzimer laserrean erabiltzen diren neon, fluor eta argon gasen artean, neonak laser gas nahastearen %96 baino gehiago hartzen du. Erdieroaleen teknologiaren hobekuntzarekin, exzimer laserren erabilera areagotu egin da, eta esposizio bikoitzeko teknologiaren sarrerak ArF exzimer laserek kontsumitzen duten neon gasaren eskaera nabarmen handitu du. Espezialitate elektronikoen gasen lokalizazioaren sustapenaz baliatuz, etxeko fabrikatzaileek merkatuaren hazkunde-espazio hobea izango dute etorkizunean.
Litografia makina erdieroaleen fabrikazioaren oinarrizko ekipamendua da. Litografiak transistoreen tamaina definitzen du. Litografia industria-katearen garapen koordinatua da litografia-makinaren aurrerapenerako gakoa. Bat datozen material erdieroaleek, hala nola, fotorresistentzia, fotolitografia-gasa, fotomaskara eta estaldura eta garapen-ekipoak eduki teknologiko handia dute. Litografia-gasa litografia-makinak laser ultramore sakona sortzen duen gasa da. Litografiako gas ezberdinek uhin-luzera desberdinetako argi-iturriak sor ditzakete, eta haien uhin-luzerak zuzenean eragiten du litografia-makinaren bereizmenean, hau da, litografia-makinaren muinetako bat. 2020an, litografia-makinen salmenta global osoa 413 unitatekoa izango da, eta horietatik ASML salmentak 258 unitateak %62 izan ziren, Canonen 122 unitateak %30 eta Nikonen salmentak 33 unitateak %8.
Argitalpenaren ordua: 2021-10-15
