Boro trikloruroa (BCl3)konposatu ez-organikoa da, erdieroaleen fabrikazioan grabatu lehorrean eta lurrun-deposizio kimikoan (CVD) erabili ohi dena. Gas kolorgea da, usain sarkor handia duena giro-tenperaturan, eta aire hezearekiko sentikorra da, hidrolizatzen baita azido klorhidrikoa eta azido borikoa sortzeko.

Boro trikloruroaren aplikazioak

Erdieroaleen industrian,Boro trikloruroaBatez ere aluminioaren grabatu lehorrean eta siliziozko obleetan P motako eskualdeak eratzeko dopante gisa erabiltzen da. GaAs, Si, AlN bezalako materialak grabatzeko ere erabil daiteke, eta aplikazio espezifiko batzuetan boro iturri gisa. Horrez gain, boro trikloruroa oso erabilia da metalen prozesamenduan, beiraren industrian, analisi kimikoan eta laborategiko ikerketan.

Boro trikloruroaren segurtasuna

Boro trikloruroaKorrosiboa eta toxikoa da, eta kalte larriak eragin ditzake begietan eta larruazalean. Aire hezean hidrolizatzen da hidrogeno kloruro gas toxikoa askatzeko. Beraz, segurtasun neurri egokiak hartu behar dira manipulatzerakoan.Boro trikloruroa, babes-arropa, betaurrekoak eta arnasketa-babeserako ekipamendua erabiltzea barne, eta ondo aireztatutako ingurune batean lan egitea.