Garbitasun ultra handiko gasak (UHP) erdieroaleen industriaren bizia dira. Aurrekaririk gabeko eskariak eta mundu mailako hornikuntza-kateen etenek presio ultra altuko gasaren prezioa igotzen duten heinean, erdieroaleen diseinu eta fabrikazio-praktika berriak kutsadura-kontrolaren maila handitzen ari dira. Erdieroaleen fabrikatzaileentzat, UHP gasaren purutasuna ziurtatzea inoiz baino garrantzitsuagoa da.

Garrantzi handiko gasak (UHP) guztiz kritikoak dira Erdieroaleen Fabrikazio Modernoan

UHP gasaren aplikazio nagusietako bat inertizazioa da: UHP gasa osagai erdieroaleen inguruan babes-atmosfera bat emateko erabiltzen da, eta horrela hezetasunaren, oxigenoaren eta atmosferako beste kutsatzaile batzuen eragin kaltegarrietatik babesten ditu. Hala ere, inertizazioa gasek erdieroaleen industrian egiten duten funtzio ezberdinetako bat besterik ez da. Plasma-gas primarioetatik grabatu eta errekostea erabiltzen diren gas erreaktiboetara, presio ultra-altuko gasak hainbat helburutarako erabiltzen dira eta ezinbestekoak dira erdieroaleen hornikuntza-kate osoan.

Erdieroaleen industriako "nukleoa" gas batzuk daudenitrogenoa(garbiketa orokor eta gas geldo gisa erabiltzen da),argoia(plasma-gas primario gisa erabiltzen da grabaketa eta deposizio erreakzioetan),helioa(bero-transferentzia ezaugarri bereziak dituen gas geldo gisa erabiltzen da) etahidrogenoa(errekuntza, deposizio, epitaxia eta plasma garbiketan hainbat eginkizun betetzen ditu).

Erdieroaleen teknologia eboluzionatu eta aldatu den heinean, fabrikazio-prozesuan erabilitako gasak ere aldatu egin dira. Gaur egun, erdieroaleak fabrikatzeko lantegiek gas sorta zabala erabiltzen dute, gas nobleetatik, esaterakokriptonetaneoianitrogeno trifluoruroa (NF 3 ) eta wolframio hexafluoruroa (WF 6 ) bezalako espezie erreaktiboei.

Garbitasun eskaera gero eta handiagoa

Lehenengo mikrotxip komertziala asmatu zenetik, munduak gailu erdieroaleen errendimenduaren gorakada ia esponentzial harrigarria izan du. Azken bost urteotan, errendimendu-hobekuntza mota hau lortzeko modurik seguruenetako bat "tamainaren eskalatzea" izan da: lehendik dauden txip-arkitekturaren funtsezko dimentsioak murriztea transistore gehiago espazio jakin batean estutu ahal izateko. Honetaz gain, txip-arkitektura berrien garapenak eta punta-puntako materialak erabiltzeak jauziak eman ditu gailuen errendimenduan.

Gaur egun, punta-puntako erdieroaleen dimentsio kritikoak hain dira txikiak, non tamaina eskalatzea jada ez baita bideragarria gailuaren errendimendua hobetzeko. Horren ordez, erdieroaleen ikertzaileak material berrien eta 3D txip arkitekturaren formako irtenbideak bilatzen ari dira.

Hamarkadetako birdiseinu nekaezinak esan nahi du gaur egungo gailu erdieroaleak antzinako mikrotxipak baino askoz indartsuagoak direla, baina hauskoragoak ere badira. 300 mm-ko obleak fabrikatzeko teknologiaren agerpenak erdieroaleen fabrikaziorako beharrezkoa den ezpurutasun-kontrolaren maila handitu du. Fabrikazio prozesu batean kutsadurarik txikienak ere (batez ere gas arraroak edo geldoak) ekipoen hutsegite hondamendiak sor ditzake; beraz, gasaren garbitasuna inoiz baino garrantzitsuagoa da.

Erdieroaleen fabrikazio planta tipiko baterako, purutasun ultra-altuko gasa da dagoeneko materialaren gasturik handiena silizioaren ondoren. Kostu hauek erdieroaleen eskaera altuera berrietara igotzen den heinean soilik handitzea espero da. Europako gertakariek etenaldi gehiago eragin dute presio ultra altuko gas naturalaren merkatu tentsioan. Ukraina purutasun handiko munduko esportatzaile handienetako bat daneoiaseinaleak; Errusiaren inbasioak gas arraroaren hornidura mugatzen ari direla esan nahi du. Horrek, aldi berean, beste gas noble batzuen eskasia eta prezio altuagoak ekarri zituenkriptonetaxenoia.