Purutasun ultra-altua (UHP) gasak erdieroaleen industriaren bizitza dira. Hornidura-kate globaletarako aurrekaririk gabeko eskari gisa eta presio ultra handiko gasaren prezioa bultzatzen du, erdieroaleen diseinu eta fabrikazio praktika berriek behar duten kutsadura kontrol maila handitzen ari dira. Erdieroaleen fabrikatzaileentzat, UHP gasaren garbitasuna inoiz baino garrantzitsuagoa dela ziurtatzeko gai da.

Ultra garbitasun handia (UHP) gasak oso kritikoak dira erdieroaleen fabrikazio modernoan

UHP gasaren aplikazio nagusietako bat inertzia da: UHP gasa erdieroaleen osagaiaren inguruan babes giroa emateko erabiltzen da, eta, horrela, atmosferan hezetasunaren, oxigenoaren eta beste kutsatzaileen eragin kaltegarrietatik babesten ditu. Hala ere, inerteizazioa gasak erdieroale industrian egiten dituzten funtzio desberdinetako bat da. Plasma-gas nagusietatik grabaketa eta barneratutako gas erreaktiboetara, presio ultra-gasoak helburu desberdinetarako erabiltzen dira eta ezinbestekoak dira erdieroaleen hornidura-kate osoan.

Erdieroaleen industriako "nukleo" batzuen artean daudenitrogeno(garbiketa orokorra eta gas inerte gisa erabiltzen da),argonte(grabaketa eta gordailuen erreakzioetan plasma nagusitzat erabiltzen da),helium(bero-transferentziarako propietate bereziak dituen gas inerte gisa erabiltzen da) etahidrogeni(Eginkizun anitz jokatzen ditu estimazioan, gordailuan, epitaxian eta plasma garbitzean).

Erdieroaleen teknologiak eboluzionatu eta aldatu egin ahala, beraz, erabili fabrikazio prozesuan erabilitako gasak. Gaur egun, erdieroaleen fabrikazio landareek gas sorta zabala erabiltzen dute, esaterako, gas nobleetatikkryptonetaaleNitrogeno trifluoruroa (NF 3) eta Tungsteno Hexafluoride (WF 6) bezalako espezie erreaktibatuetara (6).

Garbitasun eskaera gero eta handiagoa

Lehenengo mikrotxiparen asmakizuna izan zenetik, munduak gailu erdieroaleen errendimenduaren inguruko hazkunde harrigarri harrigarriak izan dira. Azken bost urteetan, errendimendu mota hau lortzeko modu seguruenetako bat "tamainako eskalatzea" da: lehendik dauden txiparen arkitekturen funtsezko dimentsioak murriztea transistore gehiago espazio jakin batean estutu ahal izateko. Horretaz gain, txipa berrien arkitektura garatzeak eta puntako materialak erabiltzeak gailuaren errendimenduko jauziak egin dituzte.

Gaur egun, punta-puntako erdieroaleen dimentsio kritikoak hain txikiak dira, tamaina txikiko eskala jada ez da gailuaren errendimendua hobetzeko modu bideragarria. Horren ordez, erdieroaleen ikertzaileek soluzioak bilatzen dituzte material berrien eta 3D txiparen arkitektura moduan.

Berregin gabeko birmoldaketaren hamarkadak, gaur egungo erdieroale gailuak zaharren mikrotxipak baino indartsuagoak dira, baina hauskorragoak dira. 300 mm-ko wafer fabrikazio teknologiaren etorrerak fabrikazio erdieroaleentzako beharrezkoa den garbitasun kontrol maila handitu du. Fabrikazio prozesu batean (batez ere arraroak edo gas inerteak) kutsatze txikienak ere ekipamendu katastrofikoen porrota ekar dezake. Beraz, gas garbitasuna inoiz baino garrantzitsuagoa da.

Erdieroaleen fabrikazio lantegi tipiko baterako, purutasun ultra-altuena da dagoeneko silizioaren beraren ondoren materialen gastu handiena da. Kostu horiek areagotzea espero da, erdieroaleen eskaria altuera berrietara igotzen da. Europan dauden gertakariek eten handikoa eragin dute presio ultra-altuko gasaren merkatuan. Ukraina da garbitasun handiko munduko esportatzaile handienetako bataleseinaleak; Errusiaren inbasioak gas arraroaren hornikuntzak mugatuta daudela esan nahi du. Horrek, hala nola, beste gas nobleen gabeziak eta prezio handiagoak ekarri zituenkryptonetaxenon.