Ultrapurutasun handiko (UHP) gasak dira erdieroaleen industriaren oinarria. Eskari handiek eta hornikuntza-kate globalen etenek presio ultrapuruko gasaren prezioa igotzen duten heinean, erdieroaleen diseinu eta fabrikazio praktika berriek beharrezko kutsadura kontrol maila handitzen ari dira. Erdieroaleen fabrikatzaileentzat, inoiz baino garrantzitsuagoa da UHP gasaren purutasuna bermatzea.

Ultra Purutasun Handiko (UHP) Gasak Erabat Ezinbestekoak Dira Erdieroaleen Fabrikazio Modernoan

UHP gasaren aplikazio nagusietako bat inertizazioa da: UHP gasa erabiltzen da erdieroaleen osagaien inguruan atmosfera babesle bat sortzeko, eta horrela, hezetasunaren, oxigenoaren eta atmosferako beste kutsatzaile batzuen eragin kaltegarrietatik babesten ditu. Hala ere, inertizazioa gasek erdieroaleen industrian betetzen dituzten funtzio askoren artean bat besterik ez da. Lehen mailako plasma-gasetatik hasi eta grabatu eta erreketan erabiltzen diren gas erreaktiboetaraino, ultra-presio handiko gasak helburu askotarako erabiltzen dira eta ezinbestekoak dira erdieroaleen hornikuntza-kate osoan.

Erdieroaleen industriako gas "muin-muineko" batzuk hauek dira:nitrogenoa(garbiketa orokor eta gas geldo gisa erabiltzen da),argon(grabatze eta deposizio erreakzioetan plasma gas nagusi gisa erabiltzen da),helioa(bero-transferentzia propietate bereziak dituen gas geldo gisa erabiltzen da) etahidrogenoa(hainbat eginkizun ditu errekuntzan, deposizioan, epitaxian eta plasma garbiketan).

Erdieroaleen teknologia eboluzionatu eta aldatu ahala, fabrikazio-prozesuan erabiltzen diren gasak ere eboluzionatu eta aldatu dira. Gaur egun, erdieroaleen fabrikazio-lantegiek gas sorta zabala erabiltzen dute, gas nobleetatik hasi eta, hala nola...kriptonetaneonespezie erreaktiboetara, hala nola nitrogeno trifluoruroa (NF3) eta tungsteno hexafluoruroa (WF6).

Garbitasunaren eskaria gero eta handiagoa

Lehen mikrotxip komertziala asmatu zenetik, munduak erdieroaleen gailuen errendimenduaren igoera ia esponentzial harrigarria ikusi du. Azken bost urteotan, errendimenduaren hobekuntza mota hau lortzeko modurik ziurrenetako bat "tamaina eskalatzea" izan da: dauden txip-arkitekturen dimentsio gakoak murriztea, transistore gehiago espazio jakin batean sartzeko. Horrez gain, txip-arkitektura berrien garapenak eta punta-puntako materialen erabilerak jauziak ekarri dituzte gailuen errendimenduan.

Gaur egun, punta-puntako erdieroaleen dimentsio kritikoak hain txikiak dira, ezen tamaina eskalatzea ez baita jada gailuen errendimendua hobetzeko modu bideragarria. Horren ordez, erdieroaleen ikertzaileek material berrien eta 3D txiparen arkitekturaren bidezko irtenbideak bilatzen dituzte.

Hamarkadetan etengabeko birdiseinuak esan nahi du gaur egungo erdieroale gailuak askoz indartsuagoak direla antzinako mikrotxipak baino, baina baita hauskorragoak ere. 300 mm-ko oblea fabrikatzeko teknologiaren etorrerak erdieroaleen fabrikaziorako beharrezkoa den ezpurutasun-kontrol maila handitu du. Fabrikazio-prozesu bateko kutsadura txikienak ere (batez ere gas arraroak edo geldoak) ekipamenduen akats katastrofikoak eragin ditzake; beraz, gasaren purutasuna inoiz baino garrantzitsuagoa da orain.

Ohiko erdieroaleen fabrikazio-lantegi baterako, gas ultra-purutasuna da dagoeneko gastu handiena silizioaren ondoren. Kostu hauek handituko direla espero da erdieroaleen eskaria maila berrietara igotzen den heinean. Europako gertaerek etenaldi gehigarriak eragin dituzte gas natural ultra-presio handiko merkatu tentsio handikoan. Ukraina munduko gas purutasun handiko esportatzaile handienetako bat da.neonseinaleak; Errusiaren inbasioak gas arraroaren hornidura mugatua dela esan nahi du. Horrek, aldi berean, beste gas noble batzuen eskasia eta prezioen igoera ekarri zuen, hala nolakriptonetaxenon.